財聯(lián)社6月17日電，《廣州開發(fā)區(qū) 黃埔區(qū)支持集成電路產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展若干政策措施》近日發(fā)布。其中提出，鼓勵發(fā)展光掩模、電子氣體、光刻膠、拋光材料、高純靶材等高端半導體和傳感器制造材料。積極引進國內重點基礎材料企業(yè)，穩(wěn)步提升關鍵基礎材料供應能力。重點圍繞集成電路制造關鍵部件和系統(tǒng)集成開展持續(xù)研發(fā)和技術攻關，支持光刻、清洗、刻蝕、離子注入、沉積等設備、關鍵零部件及工具國產(chǎn)化替代。對于新引進的固定資產(chǎn)投資1000萬元以上的產(chǎn)業(yè)化項目，且政策有效期內實現(xiàn)小升規(guī)的企業(yè)，按照不超過其設備和工器具投資額的15%分檔給予扶持，最高1000萬元。