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2024年04月12日 08:38:29
國內薄膜鈮酸鋰光子芯片產業化取得重要進展
《科創板日報》12日訊,4月11日上午,南智先進光電集成技術研究院(簡稱“南智光電”)鈮酸鋰光子芯片產線啟動儀式在新區舉行。南京江北新區消息顯示,本次啟用的產線,具備了光刻、刻蝕、鍍膜、研拋、濕法等系列核心技術工藝。這意味著國內薄膜鈮酸鋰光子芯片產業化取得重要進展。產線配備3.5億元規模設備、5000平方米超凈間,覆蓋了整個產業鏈的核心工藝,月產能一千片晶圓。
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